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西门子IONPURE VNX55-E大流量EDI模块的产水水质能达到什么标准?

时间:2026-01-20   浏览:21

在超纯水制备领域,西门子IONPURE VNX55-E大流量EDI模块凭借成熟可靠的技术,成为微电子等高端行业的优选设备。该模块专为超纯水需求优化设计,其产水水质在电阻率、离子去除率等关键指标上表现突出,充分满足工业生产对高纯度水质的严苛要求。本文将为您详细介绍西门子IONPURE VNX55-E大流量EDI模块的产水水质标准相关内容。

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从核心水质指标来看,西门子IONPURE VNX55-E模块的产水电阻率表现优异。以二级RO产水为进水时,其产水电阻率可稳定达到17.5MΩ・cm以上;若进水为去离子水,产水电阻率更是能突破18MΩ・cm,接近理论纯水的电阻率水平,这一指标确保了水质的高纯度,为微电子行业芯片制造、精密电子元件生产等对水质敏感的工艺提供了可靠保障。

在杂质离子去除方面,该模块展现出极强的净化能力。针对硅(SiO₂)的去除率不低于95%,有效避免了硅在设备管路和产品表面的沉积,减少了生产过程中的故障风险;硼(B)去除率同样达到95%以上,硼作为影响半导体性能的关键杂质,其高效去除对保障微电子产品质量非常重要。对于钠离子(Na⁺)和氯离子(Cl⁻)这两种常见有害离子,模块的去除率分别高达99.8%以上,大幅降低了离子杂质对生产工艺的干扰,确保产品性能稳定。

除核心指标外,西门子IONPURE VNX55-E模块的产水在其他关键参数上也符合高端工业标准。其进水要求严格控制总硬度低于0.1ppm、硅低于0.2ppm、溶解有机物(TOC,以C计)低于0.5ppm,经过模块处理后,各项杂质含量进一步降低,产水水质清洁度高,无明显污染物残留。同时,该模块采用Through-port垫片密封技术,保证运行无泄漏,避免了二次污染,确保产水水质的稳定性和一致性。

西门子IONPURE VNX55-E模块之所以能实现如此高标准的产水水质,得益于其先进的技术设计。模块采用连续电去离子技术,通过离子交换树脂与电渗析的结合,无需使用酸碱再生剂,避免了化学污染对水质的影响。其专利设计的Flexmount™支架/端板不仅简化了安装流程,更优化了水流分布,使水质净化更均匀高效。此外,模块与水接触的组件采用PVC、聚丙烯、离子交换膜等优质材料,符合工业纯水设备的材质标准,从源头杜绝了材料溶出对水质的污染。

在实际应用场景中,该模块的产水水质稳定性强,不受运行周期影响。与传统离子交换设备不同,其无需停机再生,连续运行过程中水质始终保持稳定,无周期性波动,这一特性使得生产流程更加顺畅,减少了因水质波动导致的产品不合格风险。

需要注意的是,西门子IONPURE VNX55-E模块的优质产水水质需建立在满足进水要求的基础上。该模块要求进水为二级RO产水或去离子水,进水相当电导率(含CO₂和硅)低于10μS/cm,进水温度控制在20-45℃,进水压力维持在1.4-7bar。在规范的运行条件下,结合定期维护保养,模块可长期稳定输出高标准超纯水,其实际性能还可通过IONPURE的IP-PRO设计软件进行精准核算和优化。

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西门子IONPURE VNX55-E大流量EDI模块在产水电阻率、离子去除率、水质稳定性等方面均达到高端工业超纯水标准,尤其适用于微电子行业的超纯水制备需求。如果您想了解更多西门子IONPURE VNX55-E大流量EDI模块的产水水质进水要求相关的资讯,欢迎随时在本网站留言或来电咨询相关资讯!感谢您认真阅读!

 

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